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電界放射型走査電子顕微鏡

最終更新日 2024年6月28日

本事業は終了しました

横浜市工業技術支援センターは、令和６年３月31日をもって廃止しました。長らくのご愛顧、誠にありがとうございました。以下は、過去の情報ですのでご注意ください。

電界放射型走査電子顕微鏡(FE-SEM)の装置紹介

電界放射形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

概要

原理

電子銃で発生した電子線を試料に照射すると、表面から二次電子が発生します。その二次電子を検出することで、試料表面の凹凸や形態を観察することができます。

特徴

高真空環境で観察を行うため、試料の状態によりますが、数十万倍の微小領域の観察が可能です。

不得意なこと

試料室は高真空のためガスが放出される可能性のあるもの（水分を含んだもの）は観察室に入れることはできません。また、試料に電子線をあてるため、電気を通さない試料については表面をAu(低倍率)やPt（高倍率）などの金属で薄くコーティングして測定する必要があります。試料の表面は電気が流れることにより発熱するため、熱に弱い試料の場合には表面が溶けたり、焦げたりすることがあります。

装置性能及び仕様

装置型番： JSM-7800F Prime　日本電子製
導入年月：平成29年　2月

測定例

測定例1
図１　ゾルゲル法により作成したITO膜
(倍率　80000倍)

料金

依頼試験手数料
区分	単位	金額
表面観察	１試料１測定点につき	5,700円
表面観察	１測定点の追加 (同一試料に限る)	1,600円
定性分析(エネルギー分散型分光器)	１試料１測定点につき	8,400円
定性分析(エネルギー分散型分光器)	１試料１測定点につき	1,600円
マッピング(エネルギー分散型分光器)	１試料１測定点につき (３元素以内の測定に限る)	25,100円
マッピング(エネルギー分散型分光器)	１測定元素の追加 (同一測定点に限る)	1,700円

料金について

試験、分析又は調製について特別の材料、労力等を必要とするもの及び研究又は調査の手数料の額は、実費相当額とする。
特に期限を定め急を要するものの手数料又は使用料の額は、定める額の2倍の額とする。
横浜市内に事務所又は事業所を有する者であって、中小企業基本法第２条において定められた中小企業（外部サイト）以外からの依頼に係る手数料又は使用料の額は、定める額の1.3倍の額(100円未満の端数があるときは、その端数金額を100円に切り上げる。)とする。
横浜市内に住所を有しない者又は市内に事務所若しくは事業所を有しない個人若しくは法人その他の団体からの依頼に係る手数料又は使用料の額は、定める額の1.5倍の額(100円未満の端数があるときは、その端数金額を100円に切り上げる。)とする。