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X線光電子分光分析装置
最終更新日 2024年6月28日
本事業は終了しました
横浜市工業技術支援センターは、令和6年3月31日をもって廃止しました。長らくのご愛顧、誠にありがとうございました。以下は、過去の情報ですのでご注意ください。
X線光電子分光分析装置(XPS)の装置紹介
概要
原理
試料表面にX線を照射し、表面から発生する光電子を測定することで、組成、化学結合状態が分かります。 試料から発生する光電子の運動エネルギーは、物質により固有のエネルギーを持ち、このエネルギーを測定することで、 試料を構成する元素を同定することができます。特にケミカルシフトと呼ばれるエネルギーの変化を検出できれば、 元素の化学結合状態を知ることができます。
特徴
X線が入る深さが表面から数nmと浅いため、最表面領域に関する分析が可能です。 元素は元素周期表の5番のB(ホウ素)から90番のU(ウラン)までの幅広い元素が検出できます。
注意点
試料室は超高真空のため、ガス放出などが予想される試料は入れることはできません。 粒子状の物質は、粒子間に電荷が溜まり正確な結果を得ることができなくなり、試料によっては前処理が必要となります。
装置性能及び仕様
装置型番:APEX アルバック・ファイ社製
導入年月:平成13年12月
料金
区分 | 単位 | 金額 |
---|---|---|
簡易測定(ワイドスキャン) | 1試料1測定点につき | 22,100円 |
状態分析 | 1試料1測定点につき (3元素以内の測定に限る) | 27,700円 |
1測定元素の追加 (同一試料に限る) | 5,300円 | |
深さ方向分析 | 1試料1測定点につき (3元素以内の測定に限る) | 36,400円 |
1測定元素の追加 (同一測定点に限る) | 5,300円 |
料金について
- 試験、分析又は調製について特別の材料、労力等を必要とするもの及び研究又は調査の手数料の額は、実費相当額とする。
- 特に期限を定め急を要するものの手数料又は使用料の額は、定める額の2倍の額とする。
- 横浜市内に事務所又は事業所を有する者であって、中小企業基本法第2条において定められた中小企業(外部サイト)以外からの依頼に係る手数料又は使用料の額は、定める額の1.3倍の額(100円未満の端数があるときは、その端数金額を100円に切り上げる。)とする。
- 横浜市内に住所を有しない者又は市内に事務所若しくは事業所を有しない個人若しくは法人その他の団体からの依頼に係る手数料又は使用料の額は、定める額の1.5倍の額(100円未満の端数があるときは、その端数金額を100円に切り上げる。)とする。
このページへのお問合せ
経済局中小企業振興部中小企業振興課
電話:045-671-4236
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ファクス:045-664-4867
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