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電子線マイクロアナライザ

最終更新日 2019年1月7日

電子線マイクロアナライザー(EPMA)の装置紹介

EPMAの外観


概要

原理

WフィラメントまたはCeB6フィラメントから引き出した電子線を試料にあてると、試料を構成する元素に応じた特性X線が放出されます。 特性X線を4チャンネルある分光結晶により波長ごとに分離して計測しています。特性X線は、元素の種類によって特定の波長になっているため、 波長とそこで得られたピークの高さによって元素の種類と量が分かる仕組みになっています。

特徴

ある1か所の測定点における元素の種類が分かるだけでなく、線や面における元素の分布状態を知ることが可能です。 ある場所に広がっている異物の成分を元素ごとに地図のように示すことも可能です。 元素は元素周期表の4番のBe(ベリリウム)から90番のU(ウラン)までの幅広い元素が検出できます。

不得意なこと

元素の種類とその分布状況を知ることができる装置なので、CとHだけで構成されている有機化合物などの分析については、 情報量が少なくなります。また、試料に電子線をあてるため、 電気を通さない試料については表面をAuやPtなどの金属で薄くコーティングして測定する必要があります。 試料の表面は電気が流れることにより発熱するため、熱に弱い試料の場合には表面が溶けたり、焦げたりすることがあります。

装置性能及び仕様

装置型番: EPMA-1720 島津製作所
導入年月: 平成28年 1月

測定例

測定例1
図1SEMによる腐食介在物の観察像


測定例2
図2図1と同じ場所についてEPMAによりO(酸素)の分布調べた画像 (白い箇所はOが多い場所を示す)


料金

依頼試験手数料
区分単位金額
定性分析1試料1測定点につき10,800円
定性分析1測定点の追加
(同一試料に限る)
4,500円
定性分析写真1枚につき2,900円
線分析・マッピング1試料1測定点につき
(3元素以内の測定に限る)
30,500円
線分析・マッピング1測定元素の追加
(同一測定点に限る)
5,400円

料金について

  • 試験、分析又は調製について特別の材料、労力等を必要とするもの及び研究又は調査の手数料の額は、実費相当額とする。
  • 特に期限を定め急を要するものの手数料又は使用料の額は、定める額の2倍の額とする。
  • 横浜市内に事務所又は事業所を有する者であって、中小企業基本法第2条において定められた中小企業(外部サイト)以外からの依頼に係る手数料又は使用料の額は、定める額の1.3倍の額(100円未満の端数があるときは、その端数金額を100円に切り上げる。)とする。
  • 横浜市内に住所を有しない者又は市内に事務所若しくは事業所を有しない個人若しくは法人その他の団体からの依頼に係る手数料又は使用料の額は、定める額の1.5倍の額(100円未満の端数があるときは、その端数金額を100円に切り上げる。)とする。

このページへのお問合せ

経済局中小企業振興部工業技術支援センター

電話:045-788-9000

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ファクス:045-788-9555

メールアドレス:ke-kogyogijutsu@city.yokohama.jp

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