蛍光X線膜厚計

Wターゲットから引き出したX線を金属薄膜試料（めっき膜等）にあてると、試料を構成する元素に応じた蛍光X線が放出されます。 その強度を、エネルギーごとに分離して計測（検出器：比例計数管,PIN検出器）しています。 膜厚と蛍光X線強度には相関関係があるため、得られた蛍光X線強度によって膜厚が分かる仕組みになっています。

素材（金属、プラスチック）上の金属薄膜（単一層膜、二層膜、合金膜）の膜厚を知ることが可能です。 試料にX線を照射するだけなので、原則的には非破壊測定です（ただし、試料の大きさによっては、非破壊で測定できない場合があります）。 なお、測定可能な元素範囲は22番のTi（チタン）から92番のU（ウラン）までです。

測定部からの蛍光X線を検出しなければならないので、検出器と測定点の間に遮蔽物があると、 測定できません（たとえば、凹形状試料の内側部分の膜厚など）。

同一金属を含む組み合わせ（たとえば、黄銅上の銅めっき膜など）の場合、 得られた蛍光X線を分離することが不可能なため、膜厚の測定はできません。

装置型番： FT9400　株式会社日立ハイテクサイエンス製
導入年月： 平成26年11月

厚さ試験 蛍光X線膜厚計によるもの １試料１測定点につき 2,400円

• 試験、分析又は調製について特別の材料、労力等を必要とするもの及び研究又は調査の手数料の額は、実費相当額とする。
• 特に期限を定め急を要するものの手数料又は使用料の額は、定める額の2倍の額とする。
• 横浜市内に事務所又は事業所を有する者であって、中小企業基本法第２条において定められた中小企業（外部サイト）以外からの依頼に係る手数料又は使用料の額は、定める額の1.3倍の額(100円未満の端数があるときは、その端数金額を100円に切り上げる。)とする。
• 横浜市内に住所を有しない者又は市内に事務所若しくは事業所を有しない個人若しくは法人その他の団体からの依頼に係る手数料又は使用料の額は、定める額の1.5倍の額(100円未満の端数があるときは、その端数金額を100円に切り上げる。)とする。