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エリプソメータ

最終更新日 2019年1月4日

エリプソメータ(ellipsometer)の装置紹介

エリプソメータ外観


概要

原理

試料に光をあてると、試料の表面で反射して反射光が生じます。反射光は、p偏光とs偏光の2つの成分に分けることができ、 この偏光状態が一般に楕円(エリプティカル)になることから、このような測定方法をエリプソメトリーと呼んでいます。試料にあてる光の波長を変えて、 その反射光の位相差Δ(デルタ)と振幅比Ψ(プサイ)を測定することによって、試料の光学定数や膜厚などの評価を行います。

特徴

光学測定なので非破壊で測定が可能な上、測定時間が短くて済むので、できた薄膜の評価だけではなく、作製途中の薄膜のプロセス評価(In-situ測定)が可能です。 あてる光の波長を選ぶことによって、光学定数や膜厚以外にも、反射率、透過率、バンド構造の評価、キャリヤー密度などの評価を行うことも可能です。

不得意なこと

反射光を測定するので、表面の平坦さが求められます。あてる光の波長の数分の1が限界とされています。 また、光を吸収してしまうような金属薄膜も反射光が少なくなるため、測定が困難になります。金属の種類にもよりますが、 おおよそ数百nmの膜厚が測定限界になります。複数の膜が積層している場合のそれぞれの膜厚なども測定が可能ですが、 この場合には膜と膜の間に存在する界面層などの想定が必要な場合があり、モデルを立てて計算シミュレーションを行う必要があります。 そのため計算が複雑になり、結果の解釈が難しくなる場合があります。

装置性能及び仕様

装置型番: SE-2000 日本セミラボ株式会社
導入年月: 平成28年 2月

料金

膜厚・光学定数測定 1試料1測定点につき 6,400円

料金について

  • 試験、分析又は調製について特別の材料、労力等を必要とするもの及び研究又は調査の手数料の額は、実費相当額とする。
  • 特に期限を定め急を要するものの手数料又は使用料の額は、定める額の2倍の額とする。
  • 横浜市内に事務所若しくは事業所を有する者であって、中小企業基本法第2条において定められた中小企業(外部サイト)以外からの依頼に係る手数料又は市内事務所若しくは事業所を有しない者であって、同条に定められた中小企業以外の者からの依頼に係る膜厚・光学定数測定による皮膜試験に係る手数料の額は、定める額の1.3倍の額(100円未満の端数があるときは、その端数金額を100円に切り上げる。)とする。

このページへのお問合せ

経済局中小企業振興部工業技術支援センター

電話:045-788-9000

電話:045-788-9000

ファクス:045-788-9555

メールアドレス:ke-kogyogijutsu@city.yokohama.jp

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